TPM5 시리즈 전원 컨트롤러
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TPM5 시리즈 전원 컨트롤러
TPM5 시리즈 전력 컨트롤러는 모듈형 설계를 채택하여 최대 6개의 회로를 내장하고 있습니다. 제품은 주로 확산로, PECVD, 에피택시로 등에 사용됩니다.
TPM5 시리즈 전력 컨트롤러는 모듈형 설계를 채택하여 최대 6개의 회로를 내장하고 있습니다. 제품은 주로 확산로, PECVD, 에피택시로 등에 사용됩니다.