MSB 시리즈 중주파 스퍼터링 전원 공급 장치

간단한 설명:

MSB 시리즈는 우수한 파형 변조 기술을 사용하여 DC, DC 펄스, 양방향 구형파, 양방향 사다리꼴파 및 기타 파형을 출력합니다.이 제품은 조정 가능한 출력 파형, 선택 가능한 출력 주파수, 조정 가능한 듀티 사이클 및 정밀한 전력 제어 기능을 갖추고 있습니다.낮은 에너지 저장량과 빠른 아크 반응도 가능합니다.코팅 공정을 편리하고 정밀하게 제어할 수 있습니다.제품은 주로 다양한 박막 제조 공정, 태양 전지 산업, 진공 코팅 산업에 사용됩니다.적용 공정: 마그네트론 스퍼터링 공정, 트윈 타겟 스퍼터링, 관형 PECVD.

제품 상세 정보

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특징

랙 설치
빠른 아크 응답, 응답 시간<100ns
낮은 에너지 저장, <0.5mJ/KW
다중 위상 인터리브 PFC 기술, 역률은 0.95만큼 높습니다.
다양한 출력 모드, 연속 및 간헐 모드 선택 가능
인버터 회로는 풀 소프트 스위칭 기술을 채택하고 3세대 반도체 SiC를 전력소자로 사용해 효율이 우수하다.
정확한 아크 검출, 다양한 모니터링 방법 제공