MSD 시리즈 스퍼터링 전원 공급 장치
특징
● 랙 설치
● 빠른 아크 응답, 응답 시간 <100ns
● 하단 에너지 저장, <1mJ/kW
● 컴팩트한 설치 구조, 3U 표준 섀시
● 중국어/영어 디스플레이 인터페이스로 조작이 간편합니다.
● 정밀한 제어
● 다양한 출력 범위
● 완벽한 보호 기능
제품 상세 정보
| 입력 | 입력 전압: 3AC380V±10% |
| 전력: 20kW、30kW 입력 전원 주파수: 50Hz/60Hz | |
| 산출 | 최대 출력 전압: 800V |
| 최대 출력 전류: 50A、75A | |
| 출력 전류 리플: ≤3% rms | |
| 출력 전압 리플: ≤2% rms | |
| 기술 지수 | 점화 전압: 1000V / 1200V 선택 가능 |
| 변환 효율: 95% | |
| 아크 오프 시간: 〈100ns | |
| 통신 인터페이스: 표준 RS485 / RS232(PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet 및 EtherCAT은 옵션) | |
| 치수(H*W*D)mm: 132*482*560: 176*482*700 | |
| 냉각 모드: 공랭식 | |
| 참고: 제품은 지속적으로 혁신되고 있으며 성능도 지속적으로 향상되고 있습니다. 이 매개변수 설명은 참고용입니다. | |
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