스퍼터링 전원 공급 장치
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MSB 시리즈 중파 스퍼터링 전원 공급 장치
RHH 시리즈 RF 전원 공급기는 고도화된 RF 생성 기술을 기반으로 고객에게 더 높은 전력, 더 높은 정밀도, 그리고 빠른 응답 속도를 제공하는 RF 전원 공급기를 제공합니다. 위상 설정, 펄스 제어, 디지털 튜닝 및 기타 기능을 제공합니다. 적용 분야: 태양광 산업, 평판 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등
적용 가능한 공정: 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 에칭, 플라즈마 세정, 고주파 이온 소스, 플라즈마 확산, 플라즈마 중합 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등.
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MSD 시리즈 스퍼터링 전원 공급 장치
MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 회사의 핵심 DC 제어 시스템과 뛰어난 아크 처리 방식을 결합하여 매우 안정적인 성능, 높은 제품 신뢰성, 적은 아크 손상 및 우수한 공정 반복성을 제공합니다. 중국어 및 영어 디스플레이 인터페이스를 채택하여 사용이 간편합니다.