스퍼터링 전원 공급 장치
-
MSB 시리즈 중주파 스퍼터링 전원 공급 장치
RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치는 성숙한 RF 생성 기술을 사용하여 고객에게 더 큰 전력, 더 높은 정밀도 및 빠른 응답을 갖춘 RF 전원 공급 장치를 제공합니다.위상 설정, 펄스 제어, 디지털 튜닝 및 기타 기능을 사용할 수 있습니다.적용 분야: 태양광 산업, 평판 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등
적용 가능한 프로세스: 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 에칭, 플라즈마 세정, 무선 주파수 이온 소스, 플라즈마 확산, 플라즈마 중합 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등
-
MSD 시리즈 스퍼터링 전원 공급 장치
MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 우수한 아크 처리 방식과 결합된 회사의 핵심 DC 제어 시스템을 채택하여 제품의 성능이 매우 안정적이고 제품 신뢰성이 높으며 아크 손상이 적고 공정 반복성이 우수합니다.작동하기 쉬운 중국어 및 영어 디스플레이 인터페이스를 채택하십시오.