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RMA 시리즈 매처

간단한 설명:

RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치에 적용할 수 있으며 플라즈마 에칭, 코팅, 플라즈마 세척, 플라즈마 검 제거 및 기타 공정에 널리 사용됩니다.단독으로 사용할 경우에는 타사의 RF 전원 공급 장치와 함께 사용할 수 있습니다.


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특징

● 하프브릭 및 랙 마운트 스타일
● 편리하고 풍부한 조작 메뉴를 갖춘 완전한 디지털 제어를 채택합니다.
● 주파수 튜닝, 펄스 및 펄스 동기화 기능
● CEX 위상 동기화 기능 포함
● 완벽한 보호 기능

제품 상세 정보

기술 색인 제어 전압: AC220V±10%
전송 전력: 0.5~5kW
주파수: 2MHz, 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
매칭 시간: 끝에서 끝까지 < 5S, 사전 설정 포인트 대 매칭 포인트 < 0.5 ~ 3S
정재파: <1.2
임피던스 실수부: 5~200Ω
임피던스 허수부: +200~-200j
RF 출력 전압: 4000Vpeak
RF 출력 전류: 25~40Arms
입력 인터페이스: N 유형
출력 인터페이스: 구리 막대 또는 L29
참고: 제품은 계속해서 혁신하고 있으며 성능은 계속해서 개선되고 있습니다.이 매개변수 설명은 참조용으로만 제공됩니다.


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