RMA 시리즈 매처

RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치에 적용 가능하며, 플라즈마 에칭, 코팅, 플라즈마 세정, 플라즈마 탈검 등 다양한 공정에 널리 사용됩니다. 단독으로 사용할 경우, 다른 제조업체의 RF 전원 공급 장치와 함께 사용할 수 있습니다.

제품 상세 정보

● 완전 디지털 제어, 높은 매칭 정확도 및 짧은 매칭 시간

● 진공 커패시터 채택, 높은 신뢰성 및 긴 서비스 수명

● 컴팩트한 구조, 소형, 간편한 설치

● 초광폭 매칭 범위로 모든 하중에 맞게 맞춤 제작 가능

● 수동/자동 매칭 기능 탑재

● 홀드 및 프리셋 기능 탑재

● 통신기능을 탑재하여 호스트 컴퓨터와 독립적으로 연결하여 부하 현황을 실시간으로 표시 가능

● 사용자 정의 가능한 출력 인터페이스

기술 지수	제어 전압: AC220V±10%
	송전전력 : 0.5~5kW
	주파수: 2MHz, 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	매칭 시간 : 종단간 ≤ 5S, 사전 설정 지점에서 매칭 지점까지 ≤ 0.5 ~ 3S
	정상파: 〈1.2
	임피던스 실수부 : 5~200Ω
	임피던스 허수부 : +200~-200j
	RF 출력 전압: 4000Vpeak
	RF 출력 전류: 25~40Arms
	입력 인터페이스: N형
	출력 인터페이스: 구리 막대 또는 L29
참고: 제품은 지속적으로 혁신되고 있으며 성능도 지속적으로 향상되고 있습니다. 이 매개변수 설명은 참고용입니다.