RMA 시리즈 매처

RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치에 적용할 수 있으며 플라즈마 에칭, 코팅, 플라즈마 세척, 플라즈마 검 제거 및 기타 공정에 널리 사용됩니다.단독으로 사용할 경우에는 타사의 RF 전원 공급 장치와 함께 사용할 수 있습니다.

제품 상세 정보

● 완전한 디지털 제어, 높은 매칭 정확도 및 짧은 매칭 시간

● 진공 캐패시터를 채택하여 신뢰성이 높고 수명이 길다.

● 컴팩트한 구조, 작은 크기, 쉬운 설치

● 매우 넓은 매칭 범위, 모든 부하에 맞게 맞춤화 가능

● 수동/자동 매칭 기능 탑재

● 홀드 및 프리셋 기능 포함

● 통신 기능으로 호스트 컴퓨터에 독립적으로 연결하여 부하 상태를 실시간으로 표시할 수 있습니다.

● 맞춤형 출력 인터페이스

기술 색인	제어 전압: AC220V±10%
	전송 전력: 0.5~5kW
	주파수: 2MHz, 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	매칭 시간: 끝에서 끝까지 ＜ 5S, 사전 설정 포인트 대 매칭 포인트 ＜ 0.5 ~ 3S
	정재파: <1.2
	임피던스 실수부: 5~200Ω
	임피던스 허수부: +200~-200j
	RF 출력 전압: 4000Vpeak
	RF 출력 전류: 25~40Arms
	입력 인터페이스: N 유형
	출력 인터페이스: 구리 막대 또는 L29
참고: 제품은 계속해서 혁신하고 있으며 성능은 계속해서 개선되고 있습니다.이 매개변수 설명은 참조용으로만 제공됩니다.