RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치
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RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치
RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치는 성숙한 RF 생성 기술을 사용하여 고객에게 더 큰 전력, 더 높은 정밀도 및 빠른 응답을 갖춘 RF 전원 공급 장치를 제공합니다.위상 설정, 펄스 제어, 디지털 튜닝 및 기타 기능을 사용할 수 있습니다.적용 분야: 태양광 산업, 평판 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등
적용 가능한 프로세스: 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 에칭, 플라즈마 세정, 무선 주파수 이온 소스, 플라즈마 확산, 플라즈마 중합 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등