RF 전원 공급 장치
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RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치
RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치는 현재 안정적이고 신뢰할 수 있는 전력 증폭기와 회사의 핵심 DC 제어 시스템을 채택하여 제품의 성능이 매우 안정적이고 제품 신뢰성이 높습니다.작동하기 쉬운 중국어 및 영어 디스플레이 인터페이스를 채택하십시오.주로 광전지 산업, 평면 패널 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등에 사용됩니다.
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RMA 시리즈 매처
RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치에 적용할 수 있으며 플라즈마 에칭, 코팅, 플라즈마 세척, 플라즈마 검 제거 및 기타 공정에 널리 사용됩니다.단독으로 사용할 경우에는 다른 제조사의 RF 전원 공급 장치와 함께 사용할 수 있습니다.
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RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치
RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치는 성숙한 RF 생성 기술을 사용하여 고객에게 더 큰 전력, 더 높은 정밀도 및 빠른 응답을 갖춘 RF 전원 공급 장치를 제공합니다.위상 설정, 펄스 제어, 디지털 튜닝 및 기타 기능을 사용할 수 있습니다.적용 분야: 태양광 산업, 평판 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등
적용 가능한 프로세스: 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 에칭, 플라즈마 세정, 무선 주파수 이온 소스, 플라즈마 확산, 플라즈마 중합 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등