MSD 시리즈 스퍼터링 전원 공급 장치

간단한 설명:

MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 우수한 아크 처리 방식과 결합된 회사의 핵심 DC 제어 시스템을 채택하여 제품의 성능이 매우 안정적이고 제품 신뢰성이 높으며 아크 손상이 적고 공정 반복성이 우수합니다.작동하기 쉬운 중국어 및 영어 디스플레이 인터페이스를 채택하십시오.

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특징

● 랙 설치
● 빠른 아크 응답, 응답 시간 <100ns
● 하단 에너지 저장 장치, <1mJ/kW
● 컴팩트한 설치 구조, 3U 표준 섀시
● 작동하기 쉬운 중국어/영어 디스플레이 인터페이스
● 정밀한 제어
● 폭넓은 출력 범위
● 완벽한 보호 기능

제품 상세 정보

입력	입력 전압: 3AC380V±10%
입력	전력: 20kW、30kW입력 전력 주파수: 50Hz/60Hz
산출	최대.출력 전압: 800V
	최대.출력 전류: 50A、75A
	출력 전류 리플: ≤3% rms
	출력 전압 리플: ≤2% rms
기술 색인	점화 전압: 선택 1000V / 1200V
	변환 효율: 95%
	아크 오프 시간: <100ns
	통신 인터페이스: 표준 RS485 / RS232(PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet 및 EtherCAT은 옵션)
	치수(HWD)mm: 132482560: 176482700
	냉각 모드: 공기 냉각
참고: 제품은 계속해서 혁신하고 있으며 성능은 계속해서 개선되고 있습니다.이 매개변수 설명은 참조용으로만 제공됩니다.