MSB 시리즈 중주파 스퍼터링 전원 공급 장치

간단한 설명:

RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치는 성숙한 RF 생성 기술을 사용하여 고객에게 더 큰 전력, 더 높은 정밀도 및 빠른 응답을 갖춘 RF 전원 공급 장치를 제공합니다.위상 설정, 펄스 제어, 디지털 튜닝 및 기타 기능을 사용할 수 있습니다.적용 분야: 태양광 산업, 평판 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등

적용 가능한 프로세스: 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 에칭, 플라즈마 세정, 무선 주파수 이온 소스, 플라즈마 확산, 플라즈마 중합 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등

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특징

● 하프브릭 및 랙 마운트 스타일

● 편리하고 풍부한 조작 메뉴를 갖춘 완전한 디지털 제어를 채택합니다.

● 주파수 튜닝, 펄스 및 펄스 동기화 기능

● CEX 위상 동기화 기능 포함

● 완벽한 보호 기능

제품 상세 정보

입력	입력 전압: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(특별 사양은 사용자 정의 가능)
입력	입력 주파수: 47~63Hz
산출	출력 주파수: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	조정 범위: ±5%
	출력 전력: 1.5~5kW
	출력 전력의 조절 범위: 1~100%
	출력 임피던스: 50Ω+j0
	출력 인터페이스: N 유형
	출력 모드: 연속, 펄스
	펄스 주파수: 100Hz~100kHz
	듀티 사이클: 5~95%
성과지수	역률: 0.98
	주파수 안정성 정확도: ±0.005%
	효율성: 75%(정격 출력 기준)
	고조파: <-45dBc
	길을 잃다: <-50dBc
	외부 제어 인터페이스: 아날로그 수량, 통신 및 동기화
	통신 모드: 표준 RS485 통신 인터페이스;Ether CAT, 산업용 이더넷 등 옵션
참고: 제품은 계속해서 혁신하고 있으며 성능은 계속해서 개선되고 있습니다.이 매개변수 설명은 참조용으로만 제공됩니다.