MSB 시리즈 중주파 스퍼터링 전원 공급 장치
특징
● 하프브릭 및 랙 마운트 스타일
● 편리하고 풍부한 조작 메뉴를 갖춘 완전한 디지털 제어를 채택합니다.
● 주파수 튜닝, 펄스 및 펄스 동기화 기능
● CEX 위상 동기화 기능 포함
● 완벽한 보호 기능
제품 상세 정보
입력 | 입력 전압: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(특별 사양은 사용자 정의 가능) |
입력 주파수: 47~63Hz | |
산출 | 출력 주파수: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz |
조정 범위: ±5% | |
출력 전력: 1.5~5kW | |
출력 전력의 조절 범위: 1~100% | |
출력 임피던스: 50Ω+j0 | |
출력 인터페이스: N 유형 | |
출력 모드: 연속, 펄스 | |
펄스 주파수: 100Hz~100kHz | |
듀티 사이클: 5~95% | |
성과지수 | 역률: 0.98 |
주파수 안정성 정확도: ±0.005% | |
효율성: 75%(정격 출력 기준) | |
고조파: <-45dBc | |
길을 잃다: <-50dBc | |
외부 제어 인터페이스: 아날로그 수량, 통신 및 동기화 | |
통신 모드: 표준 RS485 통신 인터페이스;Ether CAT, 산업용 이더넷 등 옵션 | |
참고: 제품은 계속해서 혁신하고 있으며 성능은 계속해서 개선되고 있습니다.이 매개변수 설명은 참조용으로만 제공됩니다. |
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