마이크로파 전원 공급 장치

간단한 설명:

마이크로파 스위칭 전원 공급 장치는 IGBT 고주파 인버터 기술을 기반으로 하는 새로운 유형의 마이크로파 전원 공급 장치입니다. 양극 고전압 전원 공급 장치, 필라멘트 전원 공급 장치, 그리고 자기장 전원 공급 장치(3kW 마이크로파 전원 공급 장치 제외)를 통합했습니다. 파동 마그네트론은 작동 조건을 제공합니다. 이 제품은 MPCVD, 마이크로파 플라즈마 에칭, 마이크로파 플라즈마 디검밍 및 기타 분야에 사용됩니다.

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특징

● 고주파 인버터 기술, 고전력 밀도, 소형화 및 고신뢰성

● 빠른 반응, 정확한 제어, 좋은 안정성

● 본 제품은 정전압, 정전력, 정전류 제어 모드를 갖추고 있습니다.

● 모든 외부 커넥터는 설치 및 유지 보수가 편리한 퀵플러그 단자와 안테나 플러그를 채택했습니다.

● 내장형 또는 외장형으로 구성 가능한 필라멘트 전원 공급 장치의 유연한 구성

● 신속한 점화 감지 및 보호

● 풍부하고 빠른 감지 및 보호 기능

● RS485 표준 통신 인터페이스

● 표준 섀시(3U: 3kW, 6kW, 6U: 10kW, 15kW, 25kW)를 채택하여 설치가 간편합니다.

제품 상세 정보

	1kW 마이크로파 전원 공급 장치	3kW 마이크로파 전원 공급 장치	5kW 마이크로파 전원 공급 장치	10kW 마이크로파 전원 공급 장치	15kW 마이크로파 전원 공급 장치	30kW 마이크로파 전원 공급 장치	75kW 마이크로파 전원 공급 장치	100kW 마이크로파 전원 공급 장치
양극의 정격 전압 및 전류	4.75kV370mA	5.5kV1000mA	7.2kV1300mA		10kV1600mA	12.5kV1800mA	13kV3000mA	18kV4500mA
필라멘트의 정격 전압 및 전류	DC3.5V10A	DC6V25A(내장)	DC12V40A(외부)		DC15V50A(외부)	DC15V50A(외부)	AC15V110A(외부)	AC15V120A
자기장의 정격 전압 및 전류	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
참고: 제품은 지속적으로 혁신되고 있으며 성능도 지속적으로 향상되고 있습니다. 이 매개변수 설명은 참고용입니다.