마이크로파 스위칭 전원 공급 장치는 IGBT 고주파 인버터 기술을 기반으로 한 새로운 유형의 마이크로파 전원 공급 장치입니다.양극 고전압 전원 공급 장치, 필라멘트 전원 공급 장치 및 자기장 전원 공급 장치(3kW 마이크로파 전원 공급 장치 제외)가 통합되어 있습니다.웨이브 마그네트론은 작업 조건을 제공합니다.이 제품은 MPCVD, 마이크로파 플라즈마 에칭, 마이크로파 플라즈마 검 제거 및 기타 분야에 사용됩니다.
주식 코드