침적
통찰력을 얻고 개발 프로세스를 가속화하세요.
Advanced Energy는 핵심 박막 증착 애플리케이션 및 소자 형상에 적합한 전원 공급 및 제어 솔루션을 제공합니다. 웨이퍼 공정의 과제를 해결하기 위해 Advanced Energy의 정밀 전력 변환 솔루션은 전력 정확도, 정밀도, 속도 및 공정 반복성을 최적화합니다.
당사는 광범위한 RF 주파수, DC 전력 시스템, 맞춤형 출력 레벨, 매칭 기술, 그리고 광섬유 온도 모니터링 솔루션을 제공하여 공정 플라즈마를 더욱 효과적으로 제어할 수 있도록 지원합니다. 또한 Fast DAQ™와 당사의 데이터 수집 및 접근성 제품군을 통합하여 공정에 대한 통찰력을 제공하고 개발 프로세스를 가속화합니다.
귀하의 요구 사항에 맞는 솔루션을 찾으려면 당사의 반도체 제조 공정에 대해 자세히 알아보세요.
당신의 도전
집적 회로의 치수를 패턴화하는 데 사용되는 필름부터 전도성 및 절연성 필름(전기적 구조)과 금속 필름(상호 연결)에 이르기까지 증착 공정에는 각 기능뿐만 아니라 웨이퍼 전체에 대한 원자 수준의 제어가 필요합니다.
증착된 필름은 구조 자체 외에도 고품질이어야 합니다. 원하는 입자 구조, 균일성, 그리고 등각 두께를 가져야 하며, 보이드가 없어야 합니다. 이는 필요한 기계적 응력(압축 및 인장)과 전기적 특성 외에도 필수적입니다.
복잡성은 계속 증가하고 있습니다. 리소그래피 한계(1X nm 미만 노드)를 해결하기 위해 자가 정렬 이중 및 사중 패터닝 기술은 모든 웨이퍼에서 패턴을 생성하고 재현하는 증착 공정을 요구합니다.
우리의 솔루션
가장 중요한 증착 애플리케이션과 장치 형상을 구축할 때는 신뢰할 수 있는 시장 선도자가 필요합니다.
Advanced Energy의 RF 전력 공급 및 고속 매칭 기술을 사용하면 모든 고급 PECVD 및 PEALD 증착 공정에 필요한 전력 정확도, 정밀도, 속도 및 공정 반복성을 사용자 지정하고 최적화할 수 있습니다.
당사의 DC 생성 기술을 활용하여 PVD(스퍼터링) 및 ECD 증착 공정에 필요한 구성 가능한 아크 응답, 전력 정확도, 속도 및 공정 반복성을 미세 조정하세요.
이익
● 향상된 플라즈마 안정성과 공정 반복성으로 수율이 향상됩니다.
● 완전한 디지털 제어를 통한 정밀한 RF 및 DC 전달로 프로세스 효율성 최적화
● 플라즈마 변화 및 아크 관리에 대한 빠른 대응
● 적응형 주파수 튜닝을 통한 다중 레벨 펄싱으로 에칭 속도 선택성 향상
● 최대 가동 시간과 제품 성능을 보장하기 위한 글로벌 지원 제공